स्पिन कोटर बेक लैंप
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “बेक” करना केवल तापमान बढ़ाने हेतु नहीं किया जाता; इसका उद्देश्य फोटोरेजिस्ट की संरचना को निर्धारित करना है।
“सॉफ्ट बेक” या...
फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक तापमान IR
लिथोग्राफी फ्लोर पर, सॉफ्ट बेक कोई वार्म-अप लैप नहीं है। यह वह चरण है जो फोटोरेसिस्ट सॉल्वेंट प्रोफाइल निर्धारित करता है, फिल्म की मोटाई लॉक करता है,...