फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में 1°C का अंतर भी “छोटा अंतर” नहीं माना जाता। ऐसा अंतर लाइनों की चौड़ाई में परिवर्तन, अशुद्धियों के उत्पन्न होने, एवं अपशिष्ट सामग्री के रूप में दिखाई देता है। आईआर हीटिंग तो सटीक हो सकती है, लेकिन तभी जब आईआर स्रोत को आपूर्ति की जाने वाली वोल्टेज स्थिर रहे, ताकि तापीय संतुलन बना रहे। हमने अपने फैब में ऐसा ही वोल्टेज रेगुलेटर विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम वेफर पर ±0.1°C की स्थिर तापमान स्थिरता हासिल करना चाहते हैं; इसके लिए आईआर इनपुट पावर को सटीक रूप से नियंत्रित किया जाता है, ताकि लाइनों के कारण होने वाले उतार-चढ़ाव से तापमान प्रभावित न हो। यह रेगुलेटर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में भी उपयोग करने योग्य है; इसकी सामग्री एवं सतह ऐसी है कि कणों का उत्पन्न होना लगभग शून्य ही रहता है। “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में भी नियंत्रण संभव है, क्योंकि कंट्रोलर वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ावों को पहले ही संभाल लेता है। इसके कारण 24/7 ऑपरेशन संभव है, एवं उत्पादन में कमी भी नहीं होती – इस उपकरण का उपयोग 5,000+ घंटों तक किया जा सकता है, एवं उत्पादन में 5% से भी कम कमी होती है।
लिथोग्राफी उपकरणों में चक्र-समय, उत्पादन-दर, एवं स्वच्छता बहुत ही महत्वपूर्ण है। स्थिर आईआर पावर से बेकिंग प्रक्रिया में होने वाली असमानताओं को दूर किया जा सकता है; इससे उत्पादन-प्रक्रिया में होने वाला समय भी कम हो जाता है। इसके अलावा, अतिरिक्त ऊर्जा की बचत भी होती है, एवं वोल्टेज-संबंधी समस्याओं से उपकरणों की देखभाल भी आसान हो जाती है।
ये ही व्यावहारिक विवरण हैं। रेगुलेटर को आईआर एमिटर के अनुरूप ही चुनें – चाहे वह शॉर्ट-वेव, मीडियम-वेव, या कार्बन-फाइबर वाला हो। कनेक्टरों एवं माउंटिंग व्यवस्था के आकारों की जाँच अवश्य करें। कॉमिशनिंग प्रक्रिया बहुत ही आसान है – आपको बस PID प्रतिक्रिया को अपने हॉट-प्लेट/आईआर ओवन की तापीय संरचना के अनुरूप समायोजित करना ही है। उच्च आर्द्रता वाले वातावरण में, उपकरण के चारों ओर नमी को नियंत्रित करना आवश्यक है, ताकि दीर्घकालिक स्थिरता बनी रहे।