फोटोरेसिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में, सिर्फ 0.5°C का अंतर ही पूरी प्रक्रिया को व्यर्थ बना सकता है। ऐसी स्थिति में आपको ऐसी ऊष्मा-व्यवस्था की आवश्यकता है जिस पर भरोसा किया जा सके… न कि केवल अनुमानों पर। हमने ऐसा ही एक तापन-उपकरण विकसित किया है; यह बिना किसी शोर के काम करता है, एवं नैनोमीटर स्तर पर तापमान नियंत्रण संभव करता है।
इसकी कार्यप्रणाली
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्वों एवं उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज घटकों का उपयोग करते हैं… इससे प्रक्रिया में कोई शोर नहीं पैदा होता, एवं तापमान भी स्थिर रहता है। वेफर स्तर पर तापमान स्थिरता ±0.1°C के भीतर ही रहती है… जो “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं के लिए आदर्श है।
5,000 घंटों से अधिक समय तक स्थिरता
यह उपकरण 5,000 घंटों से अधिक समय तक स्थिर रहता है… एवं इसकी तीव्रता में 5% से भी कम कमी आती है। यह मानक वोल्टेज संरचनाओं के साथ काम करता है, सामान्य लैंप मॉड्यूलों में भी उपयोग में आ सकता है… एवं क्लास 1–100 के क्लीनरूम मानकों के अनुरूप ही काम करता है।
लिथोग्राफी में इसके महत्व
लिथोग्राफी में, तापमान ही CD नियंत्रण एवं दोषों की संख्या को निर्धारित करता है। यह उपकरण तापमान-प्रोफ़ाइल को स्थिर रखता है… जिससे पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती, एवं उत्पादन दक्षता बनी रहती है। इसकी लंबी आयु के कारण अतिरिक्त सामग्री एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
सही तरीके से इसका उपयोग कैसे करें?
इस उपकरण की स्थापना हेतु, होस्ट लैंप मॉड्यूल के यांत्रिक घटकों एवं कनेक्टरों को सही तरीके से जोड़ना आवश्यक है… एवं ऑप्टिकल पथ को भी सही तरीके से संरेखित करना आवश्यक है… ताकि तापमान स्थिर रहे। यह उपकरण निर्धारित TEL प्लेटफॉर्मों के लिए उपयुक्त है… लेकिन इसे लगाने से पहले चैंबर की ज्यामिति एवं कंट्रोल फर्मवेयर की जाँच अवश्य करें… ताकि सब कुछ सही तरीके से काम करे।