מנורת אפייה למכשיר למריחת שכבות
בחדר הליתוגרפיה, תהליך האפייה אינו נועד לחימום בלבד – הוא אמור לקבוע את הפרופיל של הפוטורזיסט. שינוי של 2°C בטמפרטורת האפייה עלול לפגוע בשליטה בממדים...
טמפרטורת אפייה רכה של הפוטורזיסט IR
בקומת הליתוגרפיה, אפיית ריכוך (soft bake) איננה סתם חימום מקדים. זהו השלב שמגדיר את פרופיל הממס בפוטורזיסט, מקבע את עובי הסרט, וכותב את סבילות המידות...