במפעלי ייצור, יציבות הטמפרטורה אינה דבר שניתן להתעלם ממנו – זו בעצם חלק בלתי נפרד מהתהליך. בתהליכי ייבוש הוואפרים וטיפול בחומרי הפוטורזיסט, שינוי של מספר עשיריות מעלה בלבד יכול לגרום לשינויים בממדים הקריטיים של הוואפר, להשארת שאריות חומר, או ליצירת פגמים בפני השטח שלו. לכן, פיתחנו מערכות חימום קריוגניות שמאפשרות שמירה על יציבות טמפרטורית בדיוק בנקודות בהן הוואפר נמצא במגע עם התהליך.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים בגוף חימום קומפקטי, בשילוב עם טכנולוגיית אינפרא-אדום לגלים קצרים ובקרה מהירה, כדי להשיג אחידות בטמפרטורה ברמת הוואפר – בטווח של ±0.1°C. העיצוב התרמי מפחית את ההשפעות השליליות של אזורים קרים, ומאפשר עקביות בין סדרות הייצור השונות – בדיוק מה שנדרש כאשר חלון הזמן לתהליך הייצור קצר. החימום נשאר יציב לאורך 5,000 שעות ויותר, והחומרים והחיבורים שנעשה בהם שימוש נבחרו כך שימנעו יצירת חלקיקים – כך שהמערכת יכולה לפעול בסביבות נקיות מסוג Class 1–100.
למה זה עובד במקומות בהם הוא משמש? ניתן להשתמש במערכת החימום הזו באותו מערך תרמי כמו בתהליכי ייבוש הוואפרים, טיפול בחומרי הפוטורזיסט ותהליכי ייבוש/הקשייה של החומרים. המערכת מאפשרת יציבות בטמפרטורה באזורי המגע בין הוואפר לבין המערכת, כך שניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות ולשמור עליה ללא סטיות. התוצאה: שליטה טובה יותר בממדים הקריטיים של הוואפר, פחות צורך בתיקונים, ותשואה גבוהה יותר. בנוסף, ניתן לחסוך אנרגיה על ידי צמצום הצורך בהתאוששות מהשינויים התרמיים, וכן להפחית את זמני העצירה של המערכת – מכיוון שהמערכת אינה גורמת לזיהום או לשינויים בטמפרטורה.
הפרטים הטכניים: המערכת יכולה להתחבר למודולים קריוגניים ותרמיים קיימים, אך המשטח עליו היא מותקנת חייב להיות שטוח ונקי – האחידות בטמפרטורה תלויה באיכות החיבורים וביכולת המערכת לשמור על יציבות תרמית. יש לתאם את מועדי הכיול עם לוח הזמנים של התחזוקה המונעת, ולוודא שהמערכת תואמת את הבקרים הקיימים במערכת, לפני שמתחילים את ההתקנה.