متوقف کنید گرمایش کل اتاق؛ روش هوشمندانهتری برای استفاده از محفظههای خلأ
اگر قصد دارید کاهش تأثیرات زیستمحیطی ناشی از فعالیتهای صنعتی خود را داشته باشید، باید از استفاده از هیترهای مقاومتی استفاده کنید. این هیترها بسیار ناکارآمد هستند.
ما روش بهتری پیدا کردهایم: سیستمهای گرمایشی مبتنی بر امواج مادون قرمز که با شرایط خلأ سازگار هستند. به جای گرم کردن کل فضای محفظه، که منجر به هدررفت انرژی زیادی میشود، ما گرما را دقیقاً در جایی تمرکز میکنیم که نیاز به آن وجود دارد: یعنی روی ویفر یا سطح زیرلایه. این روش باعث صرفهجویی در مصرف انرژی میشود و سرعت رسیدن به دمای مورد نظر را افزایش میدهد.
واقعیت گرما در محیط خلأ
در محیطهای خلأ، پدیده همرفت کاملاً از بین میرود؛ بنابراین برای گرم کردن اشیاء، باید از امواج مادون قرمز استفاده کرد.
ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون میخواهیم انرژی دقیقاً به سمت هدف برسد، نه اینکه در دیوارههای محفظه جذب شود. با تنظیم این طول موج، میتوانیم گرما را دقیقاً روی سطح ویفر تمرکز دهیم. این روش سادهای است، اما باعث کاهش قابل توجه مصرف انرژی میشود.
تجهیزات مورد نیاز (و جنبههای پیچیده)
معمولاً از لامپهای کوارتزی با چگالی انرژی بالا برای این منظور استفاده میکنیم. از سیستمهای با ولتاژ بالا نیز استفاده میکنیم تا بتوانیم انرژی بیشتری را از طریق سیمهای نازک منتقل کنیم. این روش باعث میشود حجم هیتر کوچک شود.
اما باید مراقب بود؛ اگر ۲۰۰۰ وات انرژی را در یک مجموعه کوچک تمرکز کنید، سیستمهای خنککننده باید قادر به مقابله با این انرژی باشند. اگر سیستم خنککننده کار نکند، لامپها خراب خواهند شد. این وضعیت برای کار در کارخانه خوبی نیست.
استفاده از این روش در کارخانه شما
استفاده از لامپهای مادون قرمز باعث حذف دوره طولانی گرم شدن محفظه میشود؛ این لامپها در عرض چند ثانیه به دمای کاری میرسند. مصرف برق برای هر ویفر نیز بلافاصله کاهش خواهد یافت.
وصل کردن این لامپها به سیستم PLC موجود نیز کار سادهای است؛ فقط باید مطمئن شوید که منبع تغذیه شما قادر به تحمل جریان اولیه باشد.
برای مهندسانی که به دنبال کارخانههای سبز هستند، موضوع اصلی، جایگزین کردن یک قطعه با قطعه دیگر نیست؛ بلکه کاهش جرمی است که باید گرم شود. جرم کمتر، به معنای کربن کمتر در هواست. اینقدر ساده است!