V prostoru výroby není teplota jen parametrem pro pohodlí – jedná se o samotný proces výroby. I nárůst teploty o několik desetin stupně může ovlivnit tloušťku povlaku na čipu, změnit profily dopingu a zničit celou sérii výrobků. Ohřívač typu GaN MOCVD je navržen tak, aby tuto nejistotu odstranil.
Co je důležité uvnitř zařízení
Ohřívač kombinuje krátkovlnný infračervený emitor s termickou strukturou na bázi křemíku, která je navržena tak, aby rychle reagovala a udržovala požadovanou teplotu. Díky tomu je dosažena rovnoměrnosti teploty na úrovni čipu v rozsahu ±0,1 °C a opakovatelnost hodnoty teploty je v rozsahu ±0,5 °C mezi jednotlivými sériemi výrobků. Rychlost zvyšování teploty dosahuje až 20 °C/s, takže komora se rychle stabilizuje po naplnění, aniž by došlo k překročení stanovené teploty. Zařízení je určeno k použití v čistých prostorách třídy 1–100. Nízká míra uvolňování plynů zajišťuje, že po dosažení stabilního stavu nevznikají žádné částice. Výkon lze nastavit na 3-fázový proud 400 VAC. Rozhraní podporuje standardní konektory pro zařízení typu MOCVD, takže lze zařízení použít bez nutnosti jejich přestavby.
Proč funguje v praxi
Při epitaxy GaN ohřívač rychle stabilizuje reakční oblast, takže výrobní proces probíhá vždy podle plánu. Tato teplotní stabilita se také projevuje při litografii, kde je důležitá pro správné zpracování fotorezistu. Profily měkkého a tvrdého zahřívání dosahují požadované teploty během několika sekund, což snižuje variabilitu šířky linky a zvyšuje výtěžnost. Díky udržování požadované teploty bez jejího překročení se také šetří energie. Spolehlivost zařízení je 24/7 – je navrženo tak, aby fungovalo bez plánovaných výpadků.
Co je potřeba správně nastavit
Ohřívač funguje nejlépe, když geometrie komory odpovídá specifikovaným parametrům a vzoru proudění plynu. Pokud se změní poloha zařízení bez další kalibrace teplotního profilu, rovnoměrnost teploty se zhorší. Instalace vyžaduje přizpůsobení výkonu a řídicích systémů zařízení. Vždy doporučujeme po spuštění zařízení provést krátký testovací proces, abychom zajistili správné fungování. Jakmile je vše správně nastaveno, proces zůstane konzistentní po celou dobu výroby.