লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, সফ্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় অর্ধ-ডিগ্রির মতো সামান্য পরিবর্তনই ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনকে ন্যানোমিটার পর্যায়ে পরিবর্তন করে দেয়। এই ধরনের পরিবর্তনগুলো পুনর্কাজ, অপ্রয়োজনীয় উপাদান এবং নির্ধারিত মান থেকে বিচ্যুতির কারণ হয়। আমরা আমাদের ফটোরেজিস্ট বেকিং ল্যাম্পগুলোকে এমনভাবে ডিজাইন করেছি, যাতে তাপীয় প্রক্রিয়াগুলো স্থিতিশীল থাকে।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) এমিটার ব্যবহার করি; এর ফলে ফটোরেজিস্টগুলো দ্রুত ও সরাসরি উত্তপ্ত হয়। ৫০°C থেকে ২৫০°C পর্যন্ত আউটপুট স্থিতিশীল থাকে। ওয়েফারের সর্বত্র তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর বিভিন্ন লটের মধ্যে এই মান ±০.৫°C এর মধ্যে থাকে। এটি ক্লাস ১ থেকে ক্লাস ১০০ পর্যন্ত ক্লিনরুমের শর্তগুলো মেনে চলে; কারণ এখানে কম গ্যাস নির্গমন ও কোনো কণা উৎপন্ন না হওয়ার জন্য উপযুক্ত সরঞ্জাম ও উপাদান ব্যবহৃত হয়। তাপমাত্রা রিয়েল-টাইমে পরিমাপ ও রেকর্ড করা হয়; ফলে প্রতিটি প্রক্রিয়ার ফলাফল ট্রেসযোগ্য ডেটার মাধ্যমে জানা যায়।
কেন এটি কার্যকর?
ল্যাম্পটি ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট সফ্ট/হার্ড বেকিং ইত্যাদি প্রক্রিয়াগুলোকে সঠিকভাবে সম্পন্ন করে; কিন্তু তাপীয় ব্যয় বৃদ্ধি পায় না। তাপমাত্রা দ্রুত বৃদ্ধি পায়; ফলে সাইকেল সময় কমে যায়। সংকীর্ণ স্পেকট্রাল রেসপন্সের কারণে সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রা কম থাকে; ফলে নিচের স্তরগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হয় না। এর ফলে ত্রুটি কমে যায়, অপ্রয়োজনীয় উপাদান কমে যায়; আর CD, প্রোফাইল ও অবশিষ্ট দ্রবণীয় পদার্থগুলোর নিয়ন্ত্রণ সহজ হয়। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ তাপ ফটোরেজিস্টেই যায়, সরঞ্জাম বা ঘরে নয়।
কিছু বাস্তবতা
NIR এমিটারের তীব্রতা দূরত্বের বর্গের সাথে হ্রাস পায়; তাই ওয়ার্কিং গ্যাপটি নির্দিষ্ট ও পুনরাবৃত্তিযোগ্য হওয়া উচিত। প্রতিটি প্রক্রিয়ার আগে সামান্য ওয়ার্ম-আপ ও ক্যালিব্রেশন প্রয়োজন। আপনার চাক উপাদান ও রিফ্লেক্টরের গঠনটি ল্যাম্পের তাপীয় প্রোফাইলের সাথে মিলে যাওয়া উচিত। বিদ্যমান সিস্টেমে এটিকে সংযুক্ত করা সহজ; কিন্তু মেকানিক্যাল কন্টেইনমেন্ট ও কুল্যান্ট লাইনগুলোর জন্য পরিকল্পনা করা দরকার।