في قاعة التصنيع، يكون مستوى درجة الحرارة في الفرن مجرد رقم على الشاشة. أما العملية الفعلية فهي ما يتعرض له المادة الحساسة للضوء، من جانب إلى آخر، على سطح الرقاقة. إذا حدث تغير في التوزيع الحراري، فإن ذلك يؤثر سلبًا على عملية التحكم في الأبعاد، وبالتالي يؤثر ذلك أيضًا على عملية النقش.
ما هو مهم من الناحية التقنية
لقد صُمم هذا النظام لضمان التحكم في درجة الحرارة على مستوى الرقاقة، بدقة ±0.1 درجة مئوية، بحيث يتم تطبيق إجراءات التسخين بشكل متسق على كامل سطح الرقاقة. يتم استخدام أشعة تحت الحمراء قصيرة ومتوسطة الطول، عبر عناصر مصنوعة من الكوارتز والألياف الكربونية، مما يسمح بتسخين سريع ومستقر، دون أن يؤثر ذلك على التوزيع الحراري.
يعمل النظام في غرف نظيفة من الفئة 1 إلى 100، ويتم تصميم المنطقة الساخنة بحيث يتم تقليل تكون الجسيمات، وهو ما يحتاجه عملية الطباعة ودمج العناصر المختلفة على الرقاقة. يتم ضمان الاستقرار في العملية من خلال نظام التحكم، بحيث تظل درجة الحرارة ثابتة من دورة إلى أخرى.
لماذا يعمل هذا النظام في عملية الطباعة
في خطوط الطباعة، تعني هذه الدقة أن المادة الحساسة للضوء تتصرف بشكل متوقع خلال عمليات التسخين، مما يقلل من العيوب ويحسن جودة الرقاقات المطبوعة. كما أن الاستجابة سريعة ومنضبطة، مما يسمح بتقليل وقت التسخين دون التأثير على جودة الرقاقة، وهو أمر مفيد عند استخدام رقاقات ذات سمك أقل.
كما يتم تقليل استهلاك الطاقة، بفضل التسخين الفعال وتقليل عدد عمليات إعادة المعالجة. أما من حيث الاستمرارية في العمل، فإن النظام يعتمد على نظام مراقبة فعال وميكانيكا حرارية موثوقة، بهدف تقليل أوقات التوقف غير المخطط لها.
ما يجب التخطيط له
يتعلق الأمر بمطابقة واجهة المنطقة الساخنة مع الفرن المستخدم، سواء كان جزءًا من نظام أكبر أو فرنًا مستقلًا. كما يجب الانتباه إلى الاتصالات الكهربائية وأنظمة التبريد. من المتوقع أن يكون هناك وقت لضبط معدلات التسخين وأوقاته بناءً على نوع المادة الحساسة للضوء المستخدمة.
كما يحتاج النظام إلى جهد كهربائي مستقر ونظام تبريد فعال. إذا كانت الخدمات الكهربائية في المنطقة غير مستقرة، فإن استخدام خط كهربائي منفصل هو الحل الأفضل لضمان استقرار درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية يوميًا.